雙電測四探針測試儀/四探針檢測儀/四探針電阻率測試儀/四探針電阻率檢測儀/四探針?lè )綁K電阻儀 型號:GSZ-RTS-5 GSZ-RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱(chēng)雙位組合)測量新,將范德堡測量方法推廣應用到直線(xiàn)四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機控制下進(jìn)行兩次電測量,能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正,因此顯著(zhù)降低了幾何因素影響,從而提高了測量結果的準確度。所有這些,用目前大量使用的常規四探針測量方法所的儀器是無(wú)法實(shí)現的。 | GSZ-RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統是一個(gè)運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶(hù)程序,通過(guò)此測試程序輔助使用戶(hù)簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進(jìn)行統計分析。 測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數據,把采集到的數據在計算機中加以分析,然后把測試數據以表格,圖形直觀(guān)地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數據輸出到Excel中,讓用戶(hù)對數據進(jìn)行各種數據分析 參數: 測量范圍 | 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴展); 方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴展); 電導率:0.005~1000 s/cm; 電阻:0.001~200Ω.cm; | 可測晶片厚度 | ≤3mm | 可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺); 200mmX200mm(配S-2B型測試臺); 400mmX500mm(配S-2C型測試臺); | 恒流源 | 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續可調 | 數字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1% ; 顯示:四位半紅色發(fā)光管數字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示; | 四探針探頭基本指標 | 間距:1±0.01mm; 針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 機械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力); | 四探針探頭應用參數 | (見(jiàn)探頭附帶的合格證) | 模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87進(jìn)行) | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 | 整機測量zui大相對誤差 | (用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4% | 整機測量標準不確定度 | ≤4% | 計算機通訊接口 | 并口 | 標準使用環(huán)境 | 溫度:23±2℃; 相對濕度:≤65%; 無(wú)高頻干擾; 無(wú)強光直射; |
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