雙電測四探針測試儀/四探針測試儀/四探針檢測儀/雙電測四探針測定儀/雙電測四探針電阻率測試儀 型號：GSZ-RTS-9 采用了四探針雙電測組合(亦稱(chēng)雙位組合)測量新,將范德堡測量方法推廣應用到直線(xiàn)四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機控制下進(jìn)行兩次電測量，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正，因此顯著(zhù)降低了幾何因素影響，從而提高了測量結果的準確度。所有這些，用目前大量使用的常規四探針測量方法所的儀器是無(wú)法實(shí)現的。 是一個(gè)運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶(hù)程序。測試程序在計算機與RTS-9型四探針測試儀連接的狀態(tài)下，通過(guò)計算機的并口實(shí)現通訊。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀(guān)地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶(hù)對數據進(jìn)行各種數據分析 測量范圍 | 電阻率：10-4～105 Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：10-3～106 Ω/□(可擴展)；
電導率：10-5～104 s/cm；
電阻：10-4～105 Ω； | 可測晶片厚度 | ≤3mm | 可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)； | 恒流源 | 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續可調 | 數字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示； | 四探針探頭基本指標 | 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)； | 四探針探頭應用參數 | (見(jiàn)探頭附帶的合格證) | 模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行) | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 | 整機測量zui大相對誤差 | (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4% | 整機測量標準不確定度 | ≤4% | 計算機通訊接口 | 并口 | 標準使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無(wú)高頻干擾；
無(wú)強光直射； |
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