四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀/方阻測試儀/方阻儀/四探針電阻率測定儀 型號：KDK-KDY-1

四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡(jiǎn)稱(chēng)電阻率測試儀）是用來(lái)測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量?jì)x器。它主要由電氣測量部份（簡(jiǎn)稱(chēng)：主機）、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點(diǎn)是主機配置雙數字表，在測量電阻率的同時(shí)，另一塊數字表（以萬(wàn)分之幾的精度）適時(shí)監測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時(shí)掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開(kāi)關(guān)，在測量某些箔層材料時(shí)，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，地保護箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數據處理器，測量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來(lái)很大方便。
2、主機能數
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm
可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續可調
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數字電壓表：
測量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數+0.01%滿(mǎn)度）
輸出電源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
（5）使用環(huán)境：
溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
無(wú)較強的電場(chǎng)干擾，無(wú)強光直接照射
（6）重量、體積：
主機重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長(cháng)度×寬度×高度）

備注：
等級測量時(shí)（測電阻率），精度<3%
電氣測量時(shí)（測電阻），精度在0.3%以?xún)?nbsp;

備注：
儀器包括：主機一臺；測試架（包括臺面）一個(gè)；四探針頭1個(gè)

北京恒奧德科技有限公司  

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