橢圓偏振測厚儀 橢圓測厚儀 型號:HAD-SGC-1A 指標: 編號 | 名稱(chēng) | 參數 | 1 | 測量范圍 | 1nm-300nm | 2 | 測量zui小值 | ≤1nm | 3 | 入射角 | 30°~90°誤差≤0.1° | 4 | 偏振器方位角讀數范圍 | 0°~180° | 5 | 度盤(pán)刻度 | 每格2度 | 6 | 游標zui小讀數 | 0.05° | 7 | 光學(xué)中心高度 | 152mm | 8 | 工作臺直徑 | φ70mm | 9 | 外形尺寸 | 730mm×230mm×290mm | 10 | 主機重量 | 20kg |
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