氣體質(zhì)量流量計 氣體流量計 微型流量傳感器    

型號：FS4000系列

• 產(chǎn)品概述：MF4000系列帶數顯；FS4000系列不帶數顯

         

  FS4000是采用領(lǐng)xian的微機電系統（MEMS）流量傳感器和電子控制，專(zhuān)為普通氣體流量監測開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）

  FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍zui大到5SLPM；適用于粒子計數器和各類(lèi)分析儀器。

  FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍zui大到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等

   

  產(chǎn)品特點(diǎn):

   

  -專(zhuān)為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而

   

  -支持多種連接方式，易于安裝與使用

  -傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無(wú)需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量

  -在單個(gè)芯片上實(shí)現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高

  -輸出方式靈活，既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數據或由上位機查詢(xún)輸出數據，也可通過(guò)模擬接口輸出線(xiàn)性的模擬電壓

  -零點(diǎn)穩定度高

  -全量程高穩定性、高精確度和優(yōu)良的重復性

  -低功耗、低壓損

  -響應速度快

   

  機械尺寸:

   

   

  

   

  產(chǎn)品特點(diǎn):

   

   

   

   

   

   

  性能參數	FS4003	FS4008	單位
  通徑	3	8	mm
  zui大流量	2, 3, 4, 5	10, 20, 30, 40, 50	SLPM
  量程比	≥100:1
  精度	±(1.5+0.2FS)		%
  重復性	0.25		%
  零點(diǎn)輸出飄移	±30		mV
  輸出飄移	±0.12		%/℃
  響應時(shí)間	10（默認，50，100，200，500，1000可設置）		msec
  工作電源	8~18Vdc,50mA
  輸出方式	線(xiàn)性，RS232/RS485,模擬電壓0.5~4.5Vdc
  zui大流量壓損	100	600	Pa
  zui大工作壓力	0.5		MPa
  工作溫度	-10 ~ + 55		℃
  存儲溫度	-20 ~ + 65		℃
  工作濕度	<95%RH（無(wú)結冰、無(wú)凝露）
  機械接口	BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接頭
  校準方式	空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa
  重量	57（帶R1/4,BSPT1/4接口） 71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)		g

• MF4003-2-R-BV-A    
• MF4003-5-R-BV-A    
• MF4008-10-R-BV     
• MF4008-50-R-BV     
• FS4003-2-R-BV-A   
• FS4003-5-R-BV-A    
• FS4008-10-R-BV     
• FS4008-50-R-CV     
• FS4001-1000-CVA
• 

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