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熱式氣體質(zhì)量流量控制器
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產(chǎn)品型號：
 HA-S48 32/HMT
產(chǎn)品名稱(chēng)：
 熱式氣體質(zhì)量流量控制器
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產(chǎn)品特點(diǎn)：
 熱式氣體質(zhì)量流量控制器
  HA-S48 32/HMT熱式氣體質(zhì)量流量控制器 的詳細資料：

熱式氣體質(zhì)量流量控制器 型號；HA-S48 32/HMT

編號

項目

S48 32/HMT

1

流量規格

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;

(1,2,3,5,10,20,30)L/min

2

調節閥類(lèi)型

電磁調節閥

3

調節閥靜止狀態(tài)

常閉

4

安裝方向

任意

5

流量控制范圍

2%-

6

流量測量范圍

(0-100)%

7

零點(diǎn)溫漂

0.6%F.S.(15~35℃)

8

響應時(shí)間 

2s(T98,設定值的±2%F.S.)

9

工作環(huán)境溫度

5~50℃

10

精度保證溫度

15~35℃

11

精度

±1.0%F.S

12

線(xiàn)性

±0.5%F.S

13

重復精度

±0.2%F.S

14

工作壓差范圍

~5L/min:(0.05-0.3)MPa

10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa

15

耐壓

3MPa

16

漏率

1×10-8Pa.m3/s(He)

17

管路接頭

1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm

18

供電電源

±15VDC(±5%) ＋15V,100mA;－15V, 200mA

19

設定信號

(0-5)VDC 

輸入阻抗>1MΩ

20

流量輸出信號

(0-5)VDC

負載輸出電流能力≤3mA

21

電氣接頭

D-SUB15

22

尺寸 (mm)

113（寬）×121（高）×32（厚）

 

 

 

 

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