無(wú)油真空泵/壓力泵 * 型號:ATS-AP9901S

體積小巧，使用方便

真空壓力（Kpa）：≥70
zui大壓力（psi）：18
流量（l/min）：12
功率（VA）：80
電源：AC220V/50Hz
外型尺寸（mm）：210W x 150H x 120D
重量（Kg）：3.5

【12英寸】 SYSC-300高精度程控勻膠機  旋涂?jì)x 

一.   產(chǎn)品應用

SYSC-300系列高精度程控旋涂?jì)x（Spin Coater），其蕞高轉速可達10000rpm，蕞大旋轉加速度可達50000rpm/s（有負載條件下的真實(shí)加速度）。具有速度精度高、轉速穩定、的加速度、主動(dòng)式速度調控、勻膠過(guò)程多段程序控制等特點(diǎn)?？捎糜谖㈦娮?、半導體、光電器件、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的各類(lèi)高納米功能涂層的制備。

二.   產(chǎn)品特點(diǎn)

1.     旋轉電機采用專(zhuān)為勻膠機的高速伺服電機，具有高精度、高穩定性、高可靠性。

2.     優(yōu)異的旋轉加速性能，蕞大旋轉加速度可達50000rpm/s（有負載的真實(shí)加速度）。

3.     兩項安全互鎖功能：

 (1) 勻膠腔體具有開(kāi)啟、關(guān)閉的檢測功能，確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng)，防止勻膠過(guò)程中飛片造**身傷害；

 (2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發(fā)生真空泄漏，基片無(wú)法吸附牢固，則立即停止運行。

4.     機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。

5.     勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料，經(jīng)CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進(jìn)入真空管路和設備內部。耐腐蝕、易清潔。

6.     旋轉吸片臺采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料，經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。

7.     勻膠過(guò)程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過(guò)程蕞多可分十段進(jìn)行，每段的加速時(shí)間、旋轉速度、勻膠時(shí)間均可控制、連續可調?？蓛Υ?0組工藝程序，隨時(shí)調用。

8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態(tài)及各項參數實(shí)時(shí)顯示，更直觀(guān)了解勻膠進(jìn)程；

9.     真空泵的開(kāi)啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制，無(wú)需手動(dòng)操作。

10.   旋轉前增加預吸片步驟，“預吸片時(shí)間”蕞多為99s，確?；喂涛接谛D臺后再進(jìn)行旋轉涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時(shí)間”蕞多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。

11.   標配無(wú)油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺，防止飛片。

三.   參數